1、招标条件
项目概况:吉林师范大学重大设备贷款项目（七）
资金到位或资金来源落实情况:银行贴息贷ζ款
项目已具备招∩标条件的说明:资金已落实
2、招标内容
招标项目编号:0773-2341JLHW0023
招标项目名称:吉林师范大学重大设备贷款项目（七）
项目实◢施地点:中国吉ω 林省
招标产★品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 等离子体增强原子层Ψ沉积设备（进口） | 1套 | 主要配置：反应腔、真空系统、前驱体源系统、等离子』体源系统、预真空室、控ζ制系统与软件、配套附件等。 主要技术指标及参数： （1）设备用途：采用等离子体增强原子层沉积（PEALD）和热原子层沉积※（T-ALD）方式，在各种衬底材料和结构表面沉积均匀、致密、原︾子层尺度的氧化物、氮化物、金属等薄膜。 （2）样品尺寸：最大直径8英寸晶圆、兼容更小的晶圆和不规则碎片；不同尺寸样片之间的切换、无需反应腔的开腔破真空。 *（3）在同一个反应腔内兼容等离子体」增强原子层沉积（PEALD）模式和热原子层沉积（T-ALD）模式和，且可在两种沉积模式之间自动切换、制备周期性交替薄膜等。 | 无 |
3、投标人资格㊣ 要求
投标人应↙具备的资格或业绩:3.1 投标人是响应█招标、已在招标人或招标机构处领购招标文件并参加投标竞争的法人或其他组织。任何未在招标机构处领购招标文件的法人或其他组织均不得参加投标。
3.2 除非另△有规定，凡是来自中「华人民共和国或是与中华人民共和国有正常贸易往来的国家或地区(以下简称“合格来源国/地区”)的法人或其他组织均可投标。
3.3 与招标人〓存在利害关系可能影响招标公正性的法人或其他组织不得㊣ 参加投标。
3.4 接参与项目前期咨询和招标文件编制的法人或其他组织不得参加书（附单位负责人和授权代表身份证）。
是否接书（3）法定代表人及被授权人身份证（4）文件款打款信息（包括打款人名称、打款凭证）
注：法定代表人授权委托书内容中应【包含被授权人联系 5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2023-04-11 10:30
投标文件 评标结果将在必联网和 公示。
7、本项目公示媒∴介：机电产品招∞标投标 （同步推
未曾在中国电力招标采购网（www.dlztb.com）上注册会员的单位应先注册。登录成功后根据招标公告的相说明下载投标文件！
项目 联系人：李杨
咨询电话：010-51957458
传真：010-51957412
手机：13683233285
QQ:1211306049
微信：Li13683233285 邮箱：1211306049@qq.com
备注：欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特√网技术服务费后，查看项目◆业主，招标公告，中标公示等，并下载资格预审范围，资质要求，招标清单，报名申请表等。为保证※您能够顺利投标，具体要※求及购买标书操作流程按公告详细内容为准，以招标业主的解答为准本。
编辑：chinabidding.co
