在大型真空排气台招标文件中对其中存在异议的部分进行技术澄清如下：

第4页招标内容及ζ　范围中具体要求：

2、主真空⊙极限真空达到10^-7Pa量级；（空载）

泵组阀『门要求：

（1）预抽真空2200L/S分子泵(进口) +15L/S干泵(进口)组成；

（2）主◇抽真空为1000L/S离子泵(进口)；

（3）2台气动超高真空ㄨ插板阀DN160（进口）。

3、外真空：10*10^-1~10*10^-2Pa；

泵组阀门要求：3台1600L/S分子泵+3台16L/S直联泵和相应阀门组〗成。

要求压升→率：内真♂空压升率』：0.0067 Pa/h；

外真空压升率：0.067 Pa/h。

热态◥真空度：

内真空系统热态极限真空度优于5×10^-4 Pa（烘箱500℃保温10小时）。

外真空系统热态极限真空度优于7×10^-3 Pa（烘箱500℃保温5小时）。

第7页投标人须知前附表第4质量要求：

2、主真空极限真▅空达到10^-7Pa量级；（空载）

3、外真空：10*10^-1~10*10^-2Pa；

压升率：内真空①压升率：0.0067 Pa/h；

外真空压升率：0.067 Pa/h。

第19页合同主要条款∮的一、产品名称、商标、型号、数量及金额（第四行、第五行）：

主真空极限真空达到10^-7Pa量级；（空载）

泵组阀门要求：

（1）预抽真空220

0L/S分子泵(进口) +15L/S干泵(进口)组成；

（2）主抽真空为1000L/S离子泵(进口)；

（3）2台气动超高真空■插板阀DN160（进口）。

外真空：10*10^-1~10*10^-2Pa；修改成优于1.0×10^-3 Pa（空载）

泵组阀门要求：3台1600L/S分子泵+3台16L/S直联泵和相应阀门组成。

要求压升率：内真空压升¤率：0.0067 Pa/h；

外真空压升率：0.067 Pa/h。

热◥态真空度：

内真空系统热态极限真空度优于5×10^-4 Pa（烘箱500℃保温10小时）。

外真空系统热态极限真空度优于7×10^-3 Pa（烘箱500℃保温5小时）。

第22页招标项目要求三、技术要求中】主要技术参数要求：

2、主真空极限真空达到10^-7Pa量级；（空载）

泵组阀门要求：

（1）预抽真空2200L/S分子泵(进口) +15L/S干泵(进口)组成；

（2）主抽真空为1000L/S离子泵(进口)；

（3）2台气动超高真空插板阀DN160（进口）。

3、外真空：10*10^-1~10*10^-2Pa；

泵组阀门要求：3台1600L/S分子泵+3台16L/S直联泵和相应阀门组成。

要求压升率：内︽真空压升率：0.0067 Pa/h；

外真空压升率：0.067 Pa/h。

热〖态真空度：

内真空系统热态极限真空度优于5×10^-4 Pa（烘箱500℃保温10小时）。

外真空系统热态极限真空度优于7×10^-3 Pa（烘箱500℃保温5小时）。

8、排气后设备需＠ 电激活：要求1500W功率。（电源另配置）

核工业西南物理研究院

2021年2月9日